PS-8 SEM用奈米探針平台
PS-8 SEM用奈米探針平台
超精巧的Prober Shuttle平台可以安裝八個次世代MM4奈米微調儀以及一個三軸子平台。
27個軸中的每一個軸都可以以極高的精度定位。探針的Z驅動器可向上旋轉90°，以便輕鬆連接碰觸樣品以及快速更換針尖。
每個微調儀都配備有一個低雜訊的三軸連接器，用於測量低電流。
整個平台可通過6吋的裝載鎖定裝置置入SEM或SEM / FIB的真空室，從而縮短了操作循環時間並提高了樣品產量。
（可選配）高級探針工具套件提供Prober Shuttle補充升級方案，該套件為高端探針應用程序提供了許多其他功能。
技術規格
Prober Shuttle平台的尺寸
- 直徑140mm
- 高度10mm
子平台
- X和Y行程9mm
- Z行程0.7mm
探針
- 行程X 4.5mm
- 行程Y 5mm
- Z行程90度
所有運動軸
- 分辨率
- 線性軸<0.5 nm
- 旋轉軸<8 nm
- 速度高達1 mm / s
- 漂移<1 nm / min
- 笛卡爾坐標系運動
- 無反沖或反轉
- 粗細位移皆在單驅動器中
測量靈敏度
- 雜訊：20 fA @ 1 Hz
- 絕緣洩漏電流（探針）：<50 fA / V
- 絕緣洩漏電流（樣品）：<150 fA / V
- 信號導體電阻：<5Ω
- 最高電壓：100 V
- 最大電流：100 mA
系統功能
- 所有在大氣中的硬體均安裝在19吋機架中
- 電子組件在操作員視野之外
- 整個系統通過APT UI進行控制
- 從法蘭到機架的清潔電纜管理
- 從FIB側邊進行探測以用於電路編輯應用
- 非磁性設計
- 應用在7nm及以上