MM3A 奈米微調儀
奈米微調儀 MM3A
奈米微調儀能夠進行奈米級精確移動和在微米範圍內快速移動，是個掃描式電子顯微鏡和光學顯微鏡的有利配件。奈米微調儀的驅動元件是由壓電陶瓷構成的馬達，即奈米馬達。它能夠在普通的實驗條件下工作，無須特殊環境控制。超微操控儀的力臂短、體積輕，占有空間小，無須抗振。能夠在超高真空和在超低溫(液氮77K 和液氦4K) 條件下工作。
具有奈米精確度
MM3A奈米微調儀X 、Y 方向最小步間距為1nm ，在Z 方向最小步間距為0.25nm 增量。
高的操作速度
MM3A 移動速度最快為10mm/S ，MM3A 將大操作空間和高操作精度結合起來，很少產生傳統同類系統所帶有的問題。
無漂移，無齒輪間隙
MM3A 驅動原理確保在顯微鏡下，較長實驗過程中不存在漂移現象，也沒有傳統微調儀因機械老化所產生的齒輪間隙。而且，MM3A 適合超高真空，不受溫度變化影響。