UVO-Cleaner 紫外光加臭氧清洗機
UVO-Cleaner 紫外光加臭氧 清洗機
UVO-Cleaner 是使用短波長 UV 輻射的光敏感氧化特性。將經過適當清洗的樣品放在產生臭氧的紫外線源的 5mm 範圍內，可以在不到一分鐘的時間內獲得接近原子潔淨的表面有機汙染分子 ( 如「光阻劑」、「樹脂」、「人類表皮油脂」、「清潔劑殘留物」、「矽油」、「助燃劑」等) 。
經吸收短波長之 UV 輻射 (253.7nm) 即變成激發狀態之分子，再與活性氧原子［Ｏ］起反應／結合，即形成易揮發之分子，離開物體表面，如此即達到其清洗效果。
UVO-Cleaner 是去除有機汙染物 (Organic Contaminants) 最安全、最有效率的方式．特別是針對「矽晶片」、「砷化鎵」、「石英」、「藍寶石」、「玻璃」、「雲母」、「陶瓷」及「金屬」等材料。
UVO-Cleaner 紫外光加臭氧清洗機特色
- 高強度格柵燈
- 不銹鋼外殼
- 經濟實惠
- 數位計時器提供簡單，可重複的結果
- 不銹鋼樣品托盤，並可另外選購橡膠墊
- 高度可調托盤，適用於最大 1 inch / 25 mm 高的基材
- 自動清潔並改善塗層附著力
- 氣體介質進氣口
- 排氣口可另選購臭氧分解器及排氣風扇
常見用途
- 紫外線固化
- 表面光阻曝光微影
- 臭氧蝕刻
- 顯微鏡載玻片
- 清潔一般鏡片和光學鏡片
- 薄膜沉積的前處理
- AFM 探針清潔 / 尖端銳化
- 改善表面潤濕性
- 清潔石英和陶瓷表面
- 半導體表面氧化與製備
規格
| Model | 清洗樣品最大面積 ( 清洗盤大小) W x D | 樣品與汞燈距離可調整 (Maximum) | UV 光源強度 (mW/cm²) @254nm (from 3/4" 距離) |
| 42 | 6.75" x 6.5" | 1.5" | 25-35 mW-/cm² 柵極式低壓汞燈 |
| 342 | 6.75" x 6.5" | 4" | 25-35 mW-/cm² 柵極式低壓汞燈 |
| *144AX | 12" x 12" | 3" | 25-35 mW-/cm² 柵極式低壓汞燈 |
| *256 | 16" x 16" | 3" | 35-50 mW-/cm² 高效率 Suprasil UV Lamp |
| *288A | 24" x 12" | 3" | 35-50 mW-/cm² 高效率 Suprasil UV Lamp |
| *384 | 24" x 16" | 3" | 35-50 mW-/cm² 高效率 Suprasil UV Lamp |
| *576 | 24" x 24" | 3" | 35-50 mW-/cm² 高效率 Suprasil UV Lamp |
| 附加功能 : | |||
|---|---|---|---|
| 1. 可切換式雙進氣口及調節閥 | |||
| 2. 雙數字顯示計時器可控制清洗及廢氣排放之週期時間 | |||
| 3. 燈管使用時數計時器 | |||
| 4. 附緊急停機裝置 | |||
可選購 :
- 高功率 Suprasil UV Lamp : 可大幅提升紫外光加臭氧清洗機之清洗效率
- 臭氧分解器 (Ozone Killer) : 可分解排放廢氣中之臭氧，且易與清洗機及廢氣排放系統做連結
- 臭氧排放風箱 (Blower) : 與臭氧分解器之出風口連接可增強廢氣排放之速率